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Optimized sub-40 nm planar patterning process for a La0.7Sr0.3MnO3 magnetic memory
Wilfrid Prellier 1 Nguyen Hoa Hong Antoine Ruyter 2 Joe Sakai 2 Awatef Hassini François Gervais 2 A. Fouchet 1 B. Mercey 1 L. Méchin 3 V. Kulkarni T. Venkatesan 4 P. Padhan 1 Ch. Simon 1 Hoa Hong Nguyen S de Brion 5 G Chouteau 5 A Janossy 6 E Rauwel Buzin M. Koubaa 7 A.M. Haghiri-Gosnet J.P. Renard M. Veis V. Kolinsky S. Visnovsky Ph. Lecoeur 1 M. Darques R. Soulimane
Wilfrid Prellier 1
Author
IdHAL : wilfrid-prellierORCID : 0000-0002-1492-2837IdRef : 11412423X
Nguyen Hoa Hong
Author
Antoine Ruyter 2
Author
IdHAL : antoine-ruyterORCID : 0000-0003-1798-8265IdRef : 133283674
Joe Sakai 2
Author
ORCID : 0000-0001-7688-0655
1
CRISMAT - Laboratoire de cristallographie et sciences des matériaux (6 Bvd du maréchal Juin 14050 CAEN CEDEX 4 - France)
- UNICAEN - Université de Caen Normandie (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 CAEN Cedex 5 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- ENSICAEN - École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (6, Boulevard du Maréchal Juin CS 45053 14050 CAEN cedex 04 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR 6508 (France)
2
GREMAN - UMR 7347 - GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (Bât. E, 20 avenue Monge, 37200 Tours - France)
- UT - Université de Tours (60 rue du Plat d'Étain, 37020 Tours cedex 1 - France)
- INSA CVL - Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (88 boulevard Lahitolle, CS 60013, 18022 Bourges cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7347 (France)
3
Laboratoire de Microbiologie Industrielle (France)
4
NUS - National University of Singapore (21 Lower Kent Ridge Rd, Singapour 119077 - Singapore)
5
LCMI-GHMFL - Laboratoire des champs magnétiques intenses (25 Av des martyrs - BP 166 38042 GRENOBLE CEDEX 9 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR5021 (France)
6
Institute of Physics and Solids in Magnetic Fields Research Group of the Hungarian Academy of Sciences (P. O. Box 91, H-1521 Budapest - Hungary)
- BME - Budapest University of Technology and Economics [Budapest] (Műegyetem rkp. 3, 1111 - Budapest - Hungary)
7
Laboratoire de Physique des Matériaux.Sfax 3000, Tunisia. (BP 1171 3000 Sfax, Tunisie. - Tunisia)
- Université de Sfax - University of Sfax (Route de l'Aéroport Km 0.5 - BP 1169 .3029 Sfax - Tunisia)
Document type :
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https://hal-normandie-univ.archives-ouvertes.fr/hal-03544992
Contributor : Wilfrid Prellier Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Thursday, January 27, 2022 - 9:08:47 AM
Last modification on : Saturday, June 25, 2022 - 9:57:29 AM
Contributor : Wilfrid Prellier Connect in order to contact the contributor
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Identifiers
- HAL Id : hal-03544992, version 1
- DOI : 10.1016/j.jelechem.2004.02.021
Collections
AGROPARISTECH | UNIV-TOURS | CNRS | COMUE-NORMANDIE | INC-CNRS | GREMAN | ENSICAEN | UNICAEN | CRISMAT | INSA-GROUPE | INSA-CVL
Citation
Wilfrid Prellier, Nguyen Hoa Hong, Antoine Ruyter, Joe Sakai, Awatef Hassini, et al.. Optimized sub-40 nm planar patterning process for a La0.7Sr0.3MnO3 magnetic memory. Journal of Electroanalytical Chemistry, Elsevier 2005, 584 (1), pp.34-37. ⟨10.1016/j.jelechem.2004.02.021⟩. ⟨hal-03544992⟩
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