Métrologie du dopage de nanocristaux de silicium par sonde atomique tomographique - Normandie Université Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02120693 , version 1 (06-05-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02120693 , version 1

Citer

Etienne Talbot, Rémi Demoulin, Philippe Pareige, Dominique Muller, Daniel Mathiot. Métrologie du dopage de nanocristaux de silicium par sonde atomique tomographique. Réunion plénière du GDR NACRE, Nov 2018, Paris, France. ⟨hal-02120693⟩
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