H. Morkoc and S. N. Mohammad, Science, vol.267, pp.51-55, 1995.

G. , Science, vol.272, pp.1751-1752, 1996.

D. H. Lien, Y. H. Hsiao, S. G. Yang, M. L. Tsai, T. C. Wei et al., Nano Energy, vol.11, pp.104-109, 2015.

L. Lv, J. G. Ma, Y. R. Cao, J. C. Zhang, W. Zhang et al., Microelectronics Reliability, vol.51, pp.2168-2172, 2011.

V. Kumar, M. Kumar, P. Puviarasu, J. Kumar, T. Mohanty et al., Semicond. Sci. Technol, vol.22, pp.511-516, 2007.

K. Son, A. Liao, G. Lung, M. Gallegos, T. Hatake et al., Nanotechnol. Lett, vol.2, pp.89-95, 2010.

J. Gou, L. Q. Zhang, C. H. Zhang, Y. Song, Y. T. Yang et al., Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, vol.307, pp.89-92, 2013.

P. P. Hu, J. Liu, S. X. Zhang, K. Maaz, J. Zeng et al., Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, vol.372, pp.29-37, 2016.

W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res, vol.7, pp.1564-1583, 1992.

S. J. Bull, J. Phys. D : Appl. Phys, vol.38, pp.393-413, 2005.

J. E. Bradby, S. O. Kucheyev, J. S. Williams, J. W. Leu, G. et al., Appl. Phys. Lett, vol.80, pp.383-385, 2002.

X. Q. Yan, X. M. Huang, S. Uda, and M. W. Chen, Appl. Phys. Lett, vol.87, p.191911, 2005.

S. O. Kucheyev, J. S. Williams, and S. J. Pearton, Mater. Sci. Eng, vol.33, pp.51-107, 2001.

A. J. Haq, P. R. Munroe, M. Hoffman, P. J. Martin, and A. Bendavid, Thin Solid Films, vol.515, pp.1000-1004, 2006.

P. Kavouras, P. Komninou, and T. Karakostas, Thin Solid Films, vol.515, pp.3011-3018, 2007.

C. H. Tsai, S. R. Jian, and J. Y. Juang, Appl. Surf. Sci, vol.254, pp.1997-2002, 2008.

F. Moisy, Étude des modifications induits dans les semiconducteurs AlxGa1?xN par irradiation aux ions lourds de hauteénergie, 2016.

S. Strite and H. Morkoc, J. Vac. Sci. Technol. B, vol.10, pp.1237-1166, 1992.

S. J. Pearton, J. C. Zolper, R. J. Shul, and F. Ren, J. Appl. Phys, vol.86, pp.1-78, 1999.

C. J. Shen, J. M. Greenberg, W. A. Schutte, and E. F. Van-dishoeck, Astronomy and Astrophysics, vol.415, pp.203-215, 2004.

S. O. Kucheyev, H. Timmers, J. Zou, J. S. Williams, C. Jagadish et al., J. Appl. Phys, vol.95, pp.5360-5365, 2004.

M. Sall, I. Monnet, F. Moisy, C. Grygiel, S. Jublot-leclerc et al., J. Mater. Sci, vol.50, pp.5214-5227, 2015.

F. Moisy, M. Sall, C. Grygiel, E. Balanzat, M. Boisserie et al., Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, vol.381, pp.39-44, 2016.

Y. T. Cheng and C. M. Cheng, Surf. Coat. Technol, pp.417-424, 2000.