Évolution des techniques de micromesures thermiques au travers de quelques applications
Résumé
Les couples thermoélectriques que nous réalisons à ce jour ont une jonction de quelques micromètres à 0,5 μm pour les plus fins. Deux techniques sont utilisées : le soudage de microfils et le dépôt sous vide par pulvérisation cathodique (PVD). Nous présentons tout d'abord deux applications utilisant des couples issus de la première technique. Elles concernent la détection du champ de température périodique, d'une part en microscopie photothermique pour l'imagerie subsurfacique d'échantillon absorbant, et d'autre part en acoustique où l'accès direct à cette grandeur, simultanément à la mesure de pression, doit nous permettre de mieux caractériser les transformations thermodynamiques qui régissent ces phénomènes. Ensuite, les capteurs obtenus par dépôt peuvent être des couples thermoélectriques simples ou formant une thermopile, mais également des fluxmètres. Nous présentons le travail en cours sur la mise au point d'un capteur de flux lasers, pour l'imagerie de leur densité lumineuse, applicable dans une large gamme de longueur d'onde. Enfin, nous terminons avec un exemple de mise en œuvre d'un fluxmètre à couches résistives, appliquéà l'étude d'un écoulement gazeux laminaire, dans la détermination du transfert de chaleur fluide-paroi.