Métrologie du dopage de nanocristaux de silicium par sonde atomique tomographique

Type de document :
Communication dans un congrès
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Contributeur : Etienne Talbot <>
Soumis le : lundi 6 mai 2019 - 10:10:14
Dernière modification le : jeudi 16 mai 2019 - 13:18:02

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Citation

Etienne Talbot, Rémi Demoulin, Philippe Pareige, Dominique Muller, Daniel Mathiot. Métrologie du dopage de nanocristaux de silicium par sonde atomique tomographique. Réunion plénière du GDR NACRE, Nov 2018, Paris, France. ⟨hal-02120693⟩

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