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Conference papers

Métrologie du dopage de nanocristaux de silicium par sonde atomique tomographique

Complete list of metadata

https://hal-normandie-univ.archives-ouvertes.fr/hal-02120693
Contributor : Etienne Talbot Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, May 6, 2019 - 10:10:14 AM
Last modification on : Wednesday, December 1, 2021 - 3:32:11 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02120693, version 1

Citation

Etienne Talbot, Rémi Demoulin, Philippe Pareige, Dominique Muller, Daniel Mathiot. Métrologie du dopage de nanocristaux de silicium par sonde atomique tomographique. Réunion plénière du GDR NACRE, Nov 2018, Paris, France. ⟨hal-02120693⟩

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