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Conference papers

Métrologie du dopage de nanocristaux de silicium par sonde atomique tomographique

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https://hal-normandie-univ.archives-ouvertes.fr/hal-02120693
Contributor : Etienne Talbot <>
Submitted on : Monday, May 6, 2019 - 10:10:14 AM
Last modification on : Thursday, May 16, 2019 - 1:18:02 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02120693, version 1

Citation

Etienne Talbot, Rémi Demoulin, Philippe Pareige, Dominique Muller, Daniel Mathiot. Métrologie du dopage de nanocristaux de silicium par sonde atomique tomographique. Réunion plénière du GDR NACRE, Nov 2018, Paris, France. ⟨hal-02120693⟩

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